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FFU過濾單元具備的特點

 
AG亞遊棋牌:靈活性。

因為FFU過濾單元是自帶動力的,它不受區域的限製。在一個偌大的潔淨廠房裏,可根據需要,分區控製。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕鬆,而且不會帶來二次投資。

第二:可再利用性。

從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。

第三:負壓通風。

這是FFU過濾單元的獨特特點。由於它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對於潔淨廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔淨區裏,使得密封變得很簡單而且安全。

第四:縮短建設周期。

使用FFU省掉了風管的製作和安裝,因為風管在潔淨工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。

第五:減少運行成本。

雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在後期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。







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